Описание Eoulu F1

Eoulu F1 — универсальная платформа, с программно-определяемой архитектурой, предназначенная для высокоточных измерений полупроводниковых пластин с минимальным участием оператора. Это самая компактная и лёгкая зондовая станция для 8 и 12-дюймовых пластин, обеспечивающая высокую скорость тестирования, точность измерений и интеллектуальное управление.

Универсальность платформы F1 заключается в легкой конфигурации под решаемую задачу: включая DC, СВЧ (RF), Load Pull измерения, а также автоматизированные измерения в области кремниевой фотоники (SiPh). F1 может быть оснащена термосистемой для тестирования в диапазоне от -60°C до +300°C. Интегрированы фирменные технологии Eoulu: «Zero Error (C0)», «Virtual Ruler (VR)»
и динамическое/статическое отображение карты кристаллов.

Станция доступна в полуавтоматической и полностью автоматической конфигурациях, управляется через системы futureC (интеграция оборудования) и futureD (отслеживание данных).Это позволяет адаптировать её под любые задачи, от лабораторных исследований до массового производства полупроводниковых компонентов.

Ключевые особенности и преимущества

✔ Самая компактная и лёгкая в мире 12-дюймовая зондовая станция: ширина всего 1 метр, масса основного корпуса — 500 кг, подходит для чистых помещений

✔ Запатентованные технологии Eoulu: "C0 (Zero Error)" и "Virtual Ruler (VR)" для зондирования неровных подложек

✔ Скоростное картографирование: среднее время отображения карты < 1 с, минимум < 500 мс

✔ Широкий температурный диапазон: от -60°C до +300°C (воздушное/жидкостное охлаждение)

✔ Точная механика: X/Y: ≤ 0.05 µm; Z: ≤ 1 µm

✔ Экранирование: свет ≥ 150 дБ; EMI ≥ 20 дБ

✔ Поддержка Edge Die: точное зондирование структур по краю пластины

✔ Интеграция с MES: поддержка систем исполнения производственных процессов и полная трассируемость

Микроскоп

• Диапазон перемещения: X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: 90 мм.
• Точность позиционирования: ± 2 мкм.
• Скорость перемещения: X/Y: 60 мм/с, Z: 120 мм/с.
• Оптическое разрешение: ≤ 1.5 мкм.
• Стандартное увеличение: 225X.

Термоконтроль и охлаждение

• Температурный диапазон: -60°C до 300 °C.
• Максимальная мощность нагрева: 5,5 кВт.
• Максимальная мощность охлаждения: 12,5 кВт.
• Типы системы охлаждения: жидкостное или воздушное.
• Точность установки температуры: ± 1 °C.

Столик (Chuck)

• Диаметры подложек: 8" / 12"
• Температура: от -60°C до +300°C
• Утечка: ≤ 231 фА; Шум: ≤ 42 фА
• Мощность нагрева: 5.5 кВт; охлаждения: 12.5 кВт
• Переход от -60°C до 25°C: 9 мин

Экранирование и виброизоляция

• Экранирование света: ≥ 150 дБ
• EMI: 0.5–20 ГГц, ≥ 20 дБ
• Виброизоляция: Вертикально 2.5–2.7 Гц,
• Горизонтально 2.0–4.5 Гц
• Эффективность изоляции: 5–6%; класс VC-C

Перемещение и точность

• Диапазон X/Y: 301 мм; Тета: ±5°
• Скорость: до 150 мм/с
• Точность позиционирования: X/Y: ≤ 0.05 µm; Z: ≤ 1 µm

Интеллектуальное ПО и автоматизация
F1 Probe Station поддерживает интеллектуальную автоматизацию с использованием программ:

• Future C — автоматизация тестирования и интеграция с приборами.
• Future D — обработка данных и мониторинг процессов.
• Future E — программное обеспечение для управления ресурсами.

Варианты исполнения: ручная, полуавтоматическая и автоматическая станция

1. Ручная зондовая станция (Manual F1 Probe Station)

• Полностью ручное управление: оператор выполняет перемещение пластин и зондов.
• Требует высокой квалификации для точного позиционирования.
• Подходит для лабораторий и опытного производства

Преимущества: низкая стоимость, гибкость настройки.
Ограничения: влияние человеческого фактора, низкая скорость тестирования.

2. Полуавтоматическая зондовая станция (Semi-Automated F1 Probe Station)

• Частично автоматизированное управление: автоматическое перемещение зондов и пластин по осям X/Y/Z.
• Поддержка автоматической калибровки и позиционирования.
• Интеграция с измерительными приборами через futureC и futureD.

Преимущества: высокая точность, сокращение времени тестирования.
Ограничения: требует участия оператора, средняя производительность.

3. Автоматическая зондовая станция (Fully-Automatic F1 Probe Station)

• Полностью автоматизированное тестирование, минимальное участие оператора.
• Автоматическая калибровка, управление тестовыми сценариями, сбор и анализ данных. Высокая скорость тестирования и максимальная точность измерений.

Преимущества: высокая производительность, исключение человеческого фактора, минимальные ошибки.
Ограничения: высокая стоимость, требуются специалисты для обслуживания.