Размер поддерживаемых пластин | 150 мм, 200 мм, 300 мм |
Диапазон перемещения | X: 301 мм / Y: 501 мм / Z: 20 мм / θ: ±10° |
Максимальная точность позиционирования | ≤ 0.05 мкм (X, Y), ≤ 1 мкм (Z),θ:± 0.003° |
Максимальная скорость перемещения | 150 мм/с (X, Y), 35 мм/с (Z) |
Среднее время перемещения при маппинге | < 500 мс (минимум), < 1 с (стандартное), < 3 с (максимум) |
Поддержка тестов | O-O, O-E, E-O, E-E |
Система автоматической калибровки | SiPh AutoCal |
Интеграция с ПО | futureC (управление), futureD (анализ данных) |
Температурный диапазон тестирования | -60°C до 300°C |
Габариты (Ш x Г x В) | 1500 мм x 1115 мм x 1530 мм |
Вес | 540 кг |
Уровень ослабления света | ≥ 150 дБ |
Электромагнитное экранирование (EMI) | ≥ 20 дБ (0.5–20 ГГц, тип.) |
Спектральный уровень шума | ≤ -150 дБВсркв/√Гц (≤ 1 МГц) |
Системный шум переменного тока (AC) | ≤ 15 мВ пик-пик (≤ 1 ГГц) |
Виброизоляция (вертикальная, горизонтальная) | 2.5 ~ 2.7 Гц (вертикально), 2.0 ~ 4.5 Гц (горизонтально) |
Температурный диапазон работы | 17°C до 25°C |
Диапазон регулировки температуры | -60°C до 300°C |
Система охлаждения | Жидкостное и воздушное охлаждение (опционально) |
Максимальная нагрузка | 1600 кг |
Тип привода | Бесщеточный DC-мотор |
Время сканирования области 500 мкм Ø | < 5 с |
Время сканирования области 100 мкм Ø | < 1 с |
Время сканирования области 10 мкм Ø | < 0.5 с |
Диапазон рабочего напряжения | 100 ~ 240 В переменного тока, 50 ~ 60 Гц |
Максимальная мощность нагрева | 5.5 кВт |
Максимальная мощность охлаждения | 12.5 кВт |
Смотрите также