Зондовая станция Eoulu F1 SiPh
р.
р.
Eoulu F1 SiPh - зондовая станция с цифровым управлением, разработанная Eoulu, специально для тестирования кремниевой фотоники (SiPh). Зондовая станция для 12-дюймовых пластин, поддерживает автоматизированное тестирование по различным оптическим и электронным параметрам. Благодаря интеграции с ПО futureC и futureD, станция позволяет не только проводить измерения, но и анализировать результаты.
Описание Eoulu F1 SiPh

Зондовая станция Eoulu F1 SiPh — это новейший стандарт в тестировании полупроводниковых пластин, объединяющий инновационные технологии, удобство эксплуатации и максимальную степень автоматизации.
Система предназначена для работы с 12-дюймовыми пластинами, обеспечивая высокоточное и автоматизированное тестирование по широкому спектру оптических и электронных параметров.
Интеграция с ПО futureC и futureD позволяет не только проводить быстрые и точные измерения, но и анализировать результаты, что обеспечивает полную прослеживаемость каждого тестируемого чипа.

Области применения

Благодаря своим передовым характеристикам и высокой точности, Зондовая станция Eoulu F1 SiPh широко используется в следующих областях:
Производство полупроводниковых устройств — тестирование кремниевых пластин, чипов и оптоэлектронных компонентов
Исследования и разработки (R&D) — работа в лабораториях, разработка новых технологий, тестирование инновационных решений
Кремниевая фотоника (SiPh) — тестирование оптических компонентов, волноводов, фотонных чипов
Автоматизированное тестирование электронных и оптических соединений — O-O, O-E, E-O, E-E
Производство и тестирование датчиков — тестирование MEMS, фотодетекторов, лазерных передатчиков и других сенсорных устройств
Оптоволоконные технологии — тестирование одиночных волокон и волоконных массивов

Ключевые особенности и преимущества

Высокая точность и стабильность — запатентованные технологии обеспечивают сверхнизкие погрешности при тестировании
Полная прослеживаемость данных — futureD фиксирует каждое измерение, обеспечивая точный анализ результатов.
Инновационные технологии — автоматическая калибровка, интеллектуальное позиционирование, адаптивное управление
Минимизация затрат — компактный размер снижает требования к чистым помещениям, а автоматизация снижает зависимость от оператора
Гибкость и масштабируемость — возможность адаптации под специфические требования производства или научных исследований
Легкость интеграции — совместимость с ведущими измерительными приборами и тестовыми системами

🔹 Автоматическая калибровка SiPh AutoCal
Eoulu разработала запатентованную систему автоматической калибровки, которая:
✔ Использует уникальные алгоритмы для точного выравнивания
✔ Значительно сокращает время настройки системы

🔹 futureC и futureD — программное обеспечение нового поколения
futureC обеспечивает полную интеграцию с широким спектром измерительных приборов, позволяя настраивать тестовые процедуры без необходимости дополнительной калибровки.
futureD — это система глубокого анализа данных, обеспечивающая полную прослеживаемость характеристик каждого чипа, снижая вероятность ошибок при производстве.

🔹 Компактные размеры и удобная установка
Благодаря инновационной конструкции, Eoulu F1 SiPh Зондовая станция:
✔ Требует меньше места (ширина всего 900 мм)
✔ Весит всего 540 кг, что снижает требования к несущей способности помещения
✔ Легко транспортируется и быстро интегрируется в производственный процесс

🔹 Оптимизация под различные условия эксплуатации
✔ Обеспечивает надежное тестирование даже на неровных пластинах
✔ Может быть адаптирована под специфические задачи заказчика
Характеристики зондовой станции Eoulu F1 SiPh
Размер поддерживаемых пластин150 мм, 200 мм, 300 мм
Диапазон перемещенияX: 301 мм / Y: 501 мм / Z: 20 мм / θ: ±10°
Максимальная точность позиционирования≤ 0.05 мкм (X, Y), ≤ 1 мкм (Z),θ:± 0.003°
Максимальная скорость перемещения150 мм/с (X, Y), 35 мм/с (Z)
Среднее время перемещения при маппинге< 500 мс (минимум), < 1 с (стандартное), < 3 с (максимум)
Поддержка тестовO-O, O-E, E-O, E-E
Система автоматической калибровкиSiPh AutoCal
Интеграция с ПОfutureC (управление), futureD (анализ данных)
Температурный диапазон тестирования-60°C до 300°C
Габариты (Ш x Г x В)1500 мм x 1115 мм x 1530 мм
Вес540 кг
Уровень ослабления света≥ 150 дБ
Электромагнитное экранирование (EMI)≥ 20 дБ (0.5–20 ГГц, тип.)
Спектральный уровень шума≤ -150 дБВсркв/√Гц (≤ 1 МГц)
Системный шум переменного тока (AC)≤ 15 мВ пик-пик (≤ 1 ГГц)
Виброизоляция (вертикальная, горизонтальная)2.5 ~ 2.7 Гц (вертикально), 2.0 ~ 4.5 Гц (горизонтально)
Температурный диапазон работы17°C до 25°C
Диапазон регулировки температуры-60°C до 300°C
Система охлажденияЖидкостное и воздушное охлаждение (опционально)
Максимальная нагрузка1600 кг
Тип приводаБесщеточный DC-мотор
Время сканирования области 500 мкм Ø< 5 с
Время сканирования области 100 мкм Ø< 1 с
Время сканирования области 10 мкм Ø< 0.5 с
Диапазон рабочего напряжения100 ~ 240 В переменного тока, 50 ~ 60 Гц
Максимальная мощность нагрева5.5 кВт
Максимальная мощность охлаждения12.5 кВт
Технические характеристики Eoulu F1 SiPh
Зондовая станция Eoulu F1 SiPh

Смотрите также