Есть вопросы?
Заполните форму, и мы свяжемся с вами в ближайшее время, чтобы предоставить актуальную цену, консультацию по продуктам и условиям поставки
Зондовая станция Eoulu M1
р.
р.
М1 — зондовая станция с цифровым управлением от Eoulu для массового производства, способная в реальном времени рассчитывать контактный след от зонда и получать пространственную информацию о зондах и проб-картах. Это позволяет повысить точность измерений и минимизировать ошибки при тестировании. Благодаря интегрированной защите от электромагнитных помех система гарантирует стабильность результатов измерений, а её автоматизированные алгоритмы упрощают процесс анализа данных.
Описание Eoulu M1
Зондовая станция M1 — это первая в мире цифровая зондовая станция массового производства, разработанная компанией Eoulu. Она предназначена для высокоточных измерений и тестирования полупроводниковых пластин в реальном времени, обеспечивая надежные и воспроизводимые измерения, соответствующие самым строгим стандартам точности в микроэлектронике.
Зондовая станция M1 — это идеальное решение для:
✔ Полупроводниковых производств — автоматизированное тестирование пластин в производственных процессах.
✔ Исследовательских лабораторий — передовые технологии для научных исследований и новых разработок.
✔ Тестовых центров — анализ характеристик микросхем и чипов с высокой точностью.
Главной особенностью Зондовой станции M1 является уникальное сочетание точности, автоматизации и защиты от электромагнитных помех, что делает её лучшим решением для тестирования современных полупроводниковых устройств.
Ключевые особенности и преимущества
1. Инновационная цифровая технология
• Позволяет наблюдать за процессом тестирования в реальном времени.
• Минимальное ручное вмешательство, что устраняет человеческий фактор и повышает точность измерений.
• Система динамического и статического картирования позволяет быстро и точно анализировать пластины.
2. Высокоточная механика и автоматизация
• Держатель пластин обеспечивает перемещение с микронной точностью.
• Высокая скорость позиционирования:
• X/Y: до 150 мм/с.
• Z: до 35 мм/с.
• Автоматическое определение следов зондирования и позиционирование зондов без необходимости вмешательства оператора.
3. Полная электромагнитная защита
• Интегрированная клетка Фарадея (Faraday Cage) для защиты от внешних электромагнитных помех.
• Защита от внешнего освещения ≥ 20 дБ (0,5−20 ГГц).
• Экранирование света: ослабление ≥ 150 дБ (200−2000 нм).
• Минимальный уровень шума: ≤ -150 дБВсркв (≤ 1 МГц).
4. Оптическая система нового поколения
• Два встроенных высокоточных микроскопа для анализа пластин:
• Основной микроскоп: 3 CCD/CMOS камеры, разрешение < 2 мкм.
• Боковой микроскоп: 1 CCD/CMOS камера, разрешение < 2 мкм.
• Оптическое разрешение: физическое — 11 мкм, улучшенное — до 5,5 мкм.
• Стандартное увеличение: 500−2000X.
• Автоматическая фокусировка и обработка изображений с использованием запатентованных алгоритмов Eoulu.
5. Широкий диапазон рабочих температур
• Поддержка тестирования при экстремальных температурах от -60°C до 300 °C.
• Два вида охлаждения:
-Жидкостное охлаждение (Liquid cool);
-Воздушное охлаждение (Air cool).
• Высокая скорость изменения температуры:
-60°C → 25 °C за 9 мин;
-25 °C → 300 °C за 25 мин.
6. Виброизоляция
• Собственная частота (вертикальная): 2,5−2,7 Гц.
• Собственная частота (горизонтальная): 2,0−4,5 Гц.
• Демпфирование (регулируемое): 6% - 20%.
• Максимальная нагрузка: 1600 кг.
7. Полная интеграция с ведущими измерительными системами
• Поддержка futureC и futureD для интеллектуального управления.
• Автоматическая калибровка и обработка данных.
• Полная совместимость с ведущими анализаторами и тестовыми платформами.
Интеграция загрузчика пластин Eoulu ROA-001 со станцией M1
Загрузчик пластин Eoulu ROA-001 полностью совместим с зондовой станцией M1, обеспечивая автоматизированную подачу и точное позиционирование.
Как работает интеграция?
Зондовая станция M1 — это первая в мире цифровая зондовая станция массового производства, разработанная компанией Eoulu. Она предназначена для высокоточных измерений и тестирования полупроводниковых пластин в реальном времени, обеспечивая надежные и воспроизводимые измерения, соответствующие самым строгим стандартам точности в микроэлектронике.
Зондовая станция M1 — это идеальное решение для:
✔ Полупроводниковых производств — автоматизированное тестирование пластин в производственных процессах.
✔ Исследовательских лабораторий — передовые технологии для научных исследований и новых разработок.
✔ Тестовых центров — анализ характеристик микросхем и чипов с высокой точностью.
Главной особенностью Зондовой станции M1 является уникальное сочетание точности, автоматизации и защиты от электромагнитных помех, что делает её лучшим решением для тестирования современных полупроводниковых устройств.
Ключевые особенности и преимущества
1. Инновационная цифровая технология
• Позволяет наблюдать за процессом тестирования в реальном времени.
• Минимальное ручное вмешательство, что устраняет человеческий фактор и повышает точность измерений.
• Система динамического и статического картирования позволяет быстро и точно анализировать пластины.
2. Высокоточная механика и автоматизация
• Держатель пластин обеспечивает перемещение с микронной точностью.
• Высокая скорость позиционирования:
• X/Y: до 150 мм/с.
• Z: до 35 мм/с.
• Автоматическое определение следов зондирования и позиционирование зондов без необходимости вмешательства оператора.
3. Полная электромагнитная защита
• Интегрированная клетка Фарадея (Faraday Cage) для защиты от внешних электромагнитных помех.
• Защита от внешнего освещения ≥ 20 дБ (0,5−20 ГГц).
• Экранирование света: ослабление ≥ 150 дБ (200−2000 нм).
• Минимальный уровень шума: ≤ -150 дБВсркв (≤ 1 МГц).
4. Оптическая система нового поколения
• Два встроенных высокоточных микроскопа для анализа пластин:
• Основной микроскоп: 3 CCD/CMOS камеры, разрешение < 2 мкм.
• Боковой микроскоп: 1 CCD/CMOS камера, разрешение < 2 мкм.
• Оптическое разрешение: физическое — 11 мкм, улучшенное — до 5,5 мкм.
• Стандартное увеличение: 500−2000X.
• Автоматическая фокусировка и обработка изображений с использованием запатентованных алгоритмов Eoulu.
5. Широкий диапазон рабочих температур
• Поддержка тестирования при экстремальных температурах от -60°C до 300 °C.
• Два вида охлаждения:
-Жидкостное охлаждение (Liquid cool);
-Воздушное охлаждение (Air cool).
• Высокая скорость изменения температуры:
-60°C → 25 °C за 9 мин;
-25 °C → 300 °C за 25 мин.
6. Виброизоляция
• Собственная частота (вертикальная): 2,5−2,7 Гц.
• Собственная частота (горизонтальная): 2,0−4,5 Гц.
• Демпфирование (регулируемое): 6% - 20%.
• Максимальная нагрузка: 1600 кг.
7. Полная интеграция с ведущими измерительными системами
• Поддержка futureC и futureD для интеллектуального управления.
• Автоматическая калибровка и обработка данных.
• Полная совместимость с ведущими анализаторами и тестовыми платформами.
Интеграция загрузчика пластин Eoulu ROA-001 со станцией M1
Загрузчик пластин Eoulu ROA-001 полностью совместим с зондовой станцией M1, обеспечивая автоматизированную подачу и точное позиционирование.
Как работает интеграция?
- Автоматическая загрузка — загрузчик берет пластину из кассеты и перемещает её в рабочую зону станции M1.
- Точное выравнивание — благодаря интеллектуальной системе позиционирования пластина размещается с высокой точностью, снижая погрешность тестирования.
- Синхронизация с ПО — управление загрузчиком интегрировано с программным обеспечением futureE, что позволяет контролировать процесс загрузки и тестирования в единой системе.
- Бережное воздействие — минимизируется механическое воздействие на пластину, что снижает риск повреждений.
- Автоматическое извлечение — после завершения тестирования загрузчик аккуратно извлекает пластину и размещает её обратно в кассету.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Максимальный диаметр пластины | 12 дюймов |
| Диапазон перемещения | X: 301 мм / Y: 501 мм / Z: 20 мм / θ: ±10° |
| Точность позиционирования (X,Y,Z,Ɵ) | ≤ 1 μm мкм, ≤ 0.05 μm мкм, ≤ 1 μm мкм, ±0.003° |
| Скорость перемещения | X/Y: до 150 мм/с / Z: до 35 мм/с |
| Среднее время перемещения | < 500 мс (минимум), < 3 с (максимум) |
| Защита от электромагнитных помех | Клетка Фарадея, защита EMI ≥ 20 дБ |
| Уровень ослабления света | ≥ 150 дБ (длина волны 200–2000 нм) |
| Виброизоляция | Собственная частота (верт.): 2,5–2,7 Гц; Максимальная нагрузка - 1600 кг; Эффективность изоляции - 5% ~ 6% |
| Система охлаждения | Жидкостное и воздушное охлаждение |
| Температурный диапазон работы | От -60°C до 300°C |
| Максимальная нагрузка | 1600 кг |
| Оптическая система | CCD/CMOS-камеры (разрешение <2 мкм) |
| Автоматизация управления | Интеллектуальная калибровка и обработка данных |
| Габариты (Ш × Г × В) | 1650 × 1600 × 1560 мм |
| Вес термосистемы и загрузчика | Основной корпус: 750 кг |
Запрос цены
Заполните форму, и мы свяжемся с вами в ближайшее время, чтобы предоставить актуальную цену, консультацию по характеристикам и условиям поставки
Смотрите также